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廣樹GS光學玻璃鏡片碳鍍膜機

更新時間:2021-11-01

訪問次數:488

廠商性質:生產廠家

簡要描述:

廣樹GS光學玻璃鏡片碳鍍膜機詳細資料:
主要用途
適用于模壓非球面光學玻璃鏡片的碳鍍膜工藝;
適應于半導體行業晶圓表面薄膜生長;
可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;

品牌自營品牌應用領域醫療衛生,電子,交通
最高溫度700℃使用氣氛氮氣、氬氣、空氣、二氧化碳、乙炔、甲烷、合氣體
長期使用400-700℃均勻度容積30L

廣樹GS光學玻璃鏡片碳鍍膜機特點:

 

■ 采用隔板設計,批量處理模壓光學鏡片的碳鍍膜工藝,每爐可放數千個鏡片;

■ 智能化PLC程序升溫程序,真空程序,CVD進氣程序,操作簡單方便;

■ 優質干式真空泵,杜絕油液污染,可選擇國產干式泵和進口干式泵;

■ 智能化CVD進氣控制系統,適應于氮氣、乙炔/甲烷、氬氣、空氣的通入和混合;

■ 先進的密封系統,泄漏率低,長期使用穩定性高;

 

廣樹GS光學玻璃鏡片碳鍍膜機詳細資料

 

主要用途

■ 適用于模壓非球面光學玻璃鏡片碳鍍膜工藝;

■ 適應于半導體行業晶圓表面薄膜生長;

■ 可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;

 

 

產品技術參數

產品型號:GS-30-700廣樹      

最高溫度 700℃;

使用氣氛: 氮氣、氬氣、空氣、二氧化碳、乙炔、甲烷、合氣體;

長期使用:400-700℃;

動 度: ±1℃;

顯示精度: 0.1℃;

勻 度: 容積30L;

進氣流量:三路MFC質量流量計控制,一路浮子流量計控制;

升降系統 兩套伺服升降系統平臺;

控制系統:智能程序化PLC控制系統;

真空泵真空度 極限真空1Pa;

腔內真空度≤10Pa;

降溫要求:外置冷卻風機,降溫階段強制降溫;

整機功率: 18KW;

: 380V, 50Hz;

水冷裝置:優質水冷機,PLC聯機控制

保護裝置: 過載、過流、過壓保護,接地,熱電偶異常報警,第二回路超溫報警保護裝置;冷卻水溫保護,壓力過載保護;

技術服務: 提供設備使用過程中的技術咨詢和支持,接到客戶故障通知3個工作時內立即響應。


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上海廣樹機電有限公司

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